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ULVAC愛發(fā)科 低能耗真空 螺桿型干泵

ULVAC愛發(fā)科 低能耗真空 螺桿型干泵 MS120A
池田屋實業(yè)優(yōu)勢供應 ，并提供報價圖片

  • 更新時間：2025-06-06
  • 產(chǎn)品型號：MS120A
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
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產(chǎn)品詳情

ULVAC愛發(fā)科 低能耗真空 螺桿型干泵 MS120A

ULVAC愛發(fā)科 低能耗真空 螺桿型干泵 MS120A


"Model:MS"是螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)的"Model:LS"的基礎上，提高了耐腐蝕性和粉末排出性能。

該型號專為使用腐蝕性氣體和有粉末排出的工藝設計。

 

特點

  • 通過對轉(zhuǎn)子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理，以防腐蝕。

  • 采用ULVAC獨T設計的轉(zhuǎn)子軸，實現(xiàn)高性能的排粉。

  • 從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運行。


用途

  • 半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統(tǒng)，如刻蝕設備、去膠設備、等離子清洗設備等。

  • 真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng)，如燒結爐、滲碳爐等。

  • 鋰電池制造設備真空排氣系統(tǒng)，如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。

  • 醫(yī)療食品設備相關的真空排氣系統(tǒng)，如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。

規(guī)格

模型MS120AMS600AMS1200A
最大排氣速度 *1立方米/小時115560980
到達壓力出色地≦0.6≦0.1
電源電壓200V級：三相，50/60Hz，AC200-240V±10% 或 400V級：三相，50/60Hz，AC380-480V±10%
消費電力概略值 *2千瓦2.43.13.1
冷卻水量升/分鐘>4.0
Purge gas量 *1空間光調(diào)制器0~50
最大水蒸氣處理量 *1*3公斤/小時1.5
噪音值　*1分貝(A)616264
吸氣口KF50(臥式) / VG50(立式)ISO-F-80ISO-F-100
排氣口KF40
質(zhì)量 *4公斤139241264
適用規(guī)格CE、cTUVus
標準附屬品快速手冊、電源連接器、防水電纜夾、遠程連接器、電源連接器保護裝置、消音器
主機選項電源：200V級或400V級
密封材質(zhì)：FKM或FFKM
外部選配件包裝排氣口、防震支架、LR兼容單元（入口、遠程）、吹掃氣閥

：到達壓力時
*2：At ultimate pressure (reference only)
*3：Purge gas使用時的最大水蒸氣處理量
*4：Including a silencer

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