TORAY東麗 半導體行業(yè)專用 多點氧氣濃度計 MS-510

TORAY東麗 半導體行業(yè)專用 多點氧氣濃度計 MS-510

多點氧濃度計MS-500/MS-510/SD傳感器系列是利用我們在半導體和電子行業(yè)積累的氧濃度計制造技術開發(fā)的，

可用于包括真空設備在內(nèi)的各種設備。
配備了我們的緊湊型氧化鋯傳感器，可以長時間進行穩(wěn)定和高精度的測量，并且還配備了氧傳感器保護機制，實現(xiàn)了超越傳統(tǒng)產(chǎn)品的耐用性。

另外，通過將氧氣傳感器和轉(zhuǎn)換器分離，最多可添加8個檢測器，可以同時測量。

操作簡單，是集成到各種處理設備中的最佳氧氣濃度計。

產(chǎn)品特點

主要裝置特點

?最多同時測量8點

使用一臺控制器最多可同時測量 8 點。

（可選添加轉(zhuǎn)換器/SD傳感器組）

?實現(xiàn)低成本、節(jié)省空間

非常適合安裝和集成到批量生產(chǎn)的機器中。

?可選支持

通過將傳輸輸出更改為 LAN 規(guī)格，可以從 LAN 連接器進行輸出。

傳感器特點

?對應真空氣氛

這是一種無需采樣的直插式傳感器，即使在真空氣氛中也可以進行測量。

?超快響應

使用單獨的傳感器實現(xiàn)最短的響應。

?高耐久性傳感器

傳感器采用特殊涂層，以實現(xiàn)高耐用性。

?標準等

CE 標志...EN61010-1、EN61326-1
RoHS 指令...EN63000

總體規(guī)格

控制器規(guī)格

檢測器（轉(zhuǎn)換器、傳感器）規(guī)格